廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵ALCATEL 5011分子泵維修
一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組,這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制,即前級高于某一壓力,泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修 ,而當前級泵達到這一臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機組不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵維修
轉(zhuǎn)子的油膜冷卻:這種冷卻方法是在羅茨真空泵入口處連接一個輸油管,用均勻滴下的冷卻油帶走轉(zhuǎn)子的熱量。油經(jīng)過濾器器、冷卻器,通過密封良好的油泵,再經(jīng)過辦輸油管將油送到泵的入口。油滴到轉(zhuǎn)子上之后,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而均面在轉(zhuǎn)了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵維修
這不僅將轉(zhuǎn)子的熱量帶走,同時在兩個轉(zhuǎn)子表面上形成油膜,防止氣體的逆流,而且還能將轉(zhuǎn)子表面上依附的微細塵埃帶走。在泵的出口處設(shè)有油槽,收集廢油,經(jīng)過過濾,冷卻后重新循環(huán)使用。此種方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵維修 ,但由于泵內(nèi)有油,失去了羅茨泵無油蒸汽污染真空系統(tǒng)的特點。再則油具有一定的粘度,對高速旋轉(zhuǎn)的羅茨泵轉(zhuǎn)子增加了不少的摩擦力,當然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵維修
所使用的油,要求飽和蒸汽壓應盡量代。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 分子泵升級改造
分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機械,軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢;而當軸承工作狀態(tài)不良時,會有一系列的現(xiàn)象,如分子泵無法啟動,運行噪音增大,溫度或功率異常增加等,在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后,應盡快停泵,送到維修中心進行檢修。
當活塞到達上部頂端時,關(guān)閉進氣閥,同時打開排氣閥,使膨脹機與低壓端相通,氣體膨脹制冷,活塞向下移動把冷量貯存在活塞內(nèi)的蓄冷器中。如此多次循環(huán),便在一、二級冷頭處分別獲得低于80K和20K的低溫和所需的制冷功率,并使氣體在低溫面上凝結(jié),在活性炭上吸附而被抽除。
前級泵對于充分發(fā)揮渦輪分子泵的性能非常重要。安捷倫的真空產(chǎn)品選型手冊為各個渦輪分子泵型號匹配的前級泵提供了具體建議,采用推薦的前級泵可以為渦輪分子泵提供合適的前級壓力。有的型號推薦了多款前級泵,用戶可以根據(jù)具體的工藝進行選擇:腔體很大、需要頻繁粗抽,工作壓力較高或者氣載比較大的應用,選擇抽速較大的前級泵;反之選擇抽速較小的前級泵。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子泵 進口真空泵維修
泵殼內(nèi)注有循環(huán)水,在抽真空時,葉輪旋轉(zhuǎn),在離心力的作用下,泵殼內(nèi)的循環(huán)水被甩至葉輪四周,在泵殼內(nèi)壁形成一個旋轉(zhuǎn)水環(huán)。又因葉輪是偏心安裝在泵殼內(nèi)的,因此水環(huán)與牙狀葉片之間形成的空間大小不同。進口真空泵維修
飛輪變形或螺桿磨損
長期使用后,泵內(nèi)部機械部件可能出現(xiàn)變形或損壞,從而影響泵的效率和性能。如飛輪變形或螺桿磨損,會導致泵的振動、噪音和效率下降,此時需要拆除故障部件并更換新的零部件。進口真空泵維修
真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如:真空工藝要求100Pa的真空度,選用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue對壓強高于3300Pa,則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果jue對壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。
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